Конструирование и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для СПО

Юрий Гуляев и Петр Лучников

Тип: PDF книга

Жанр: Учебная литература

Язык: на русском языке

Стоимость: 1589.00 ₽

Издательство: ЮРАЙТ

Дата публикации: 01.05.2025

Отзывы: Пока нет Добавить отзыв

О книге:

Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.