Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus

Андрей Глушко

Тип: PDF книга

Жанр: Учебники и пособия для вузов

Язык: на русском языке

Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)

Дата публикации: 10.03.2024

Отзывы: Пока нет Добавить отзыв

О книге:

Рассмотрена система TCAD Sentaurus приборно-технологического моделирования процессов формирования элементов интегральных микросхем, а также моделирования физических процессов, протекающих в этих элементах при различных условиях эксплуатации. Система представляет собой комплекс программ, развернутых на удаленном сервере под управлением операционных систем, подобных Linux. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры».